氣體質量流量計和控制器
可選配一體式顯示屏，用于測量潔凈氣體

規格:
精度： 滿量程的±1%（包括線性度）
重復性： 滿量程的±0.15%或者更佳
量程比： 100:1
響應時間： 5秒
氣體環境溫度： 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
溫度系數： 每1°C為滿量程的0.05%或更佳
壓力系數： 每psi為滿量程的0.01%或更佳
壓力要求：
    流量計： 1英寸水柱
最大流速為1 SLM的控制器： 1 psi
流速大于20 SLM的控制器： 20 psi
質量流量控制器的壓差： <5 LPM，5 ~ 50 psi（標準）
>5 LPM，20 ~ 40 psi（標準）
氣體最大壓力：
    聚甲醛： 250 psig
316不銹鋼： 500 psig
泄漏完整性： 1 x10-6 cc/min氦氣或更佳
接液部件：
    標配： 聚甲醛、氟橡膠O形圈
選配： 316不銹鋼、氟橡膠O形圈
連接口： ? FNPT（標配）；
?"壓合接頭（適用于所有不銹鋼型號流量計）
輸入／輸出連接口： 9針sub-D連接器
控制信號： 0 ~ 5 Vdc
控制閥： 常閉電磁閥
輸出信號： 線性0 ~ 5 Vdc（最小負載1000 ?），4 ~ 20 mA（環路電阻500 ?）
安裝螺紋：
    316不銹鋼殼體： 6?32"螺紋
聚甲醛材料： #4/6自攻螺絲
輸入電源：
    流量計： 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac（帶交流適配器）
控制器： 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac（帶交流適配器）
外形尺寸： 參見圖紙
重量： 1.25 kg (2.75 lb)（含電源）